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ハードディスク(?)のサスペンションを搬送しています。 平坦部が少なくても、小さな吸着パッドで吸着できます。 |
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102.003.005.2 Φ3.5フラットパッド シリコン |
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圧力:−65kPa 漏れ流量:0 L/MIN(ANR) |
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サスペンションの吸着搬送